高溫真空氣氛爐真空系統說明

　　高溫真空氣氛爐真空系統說明如下；
 

　　1、真空系統為擴散泵機組：即為擴散泵+旋片真空泵；由高真空擴散泵、水冷擋板、旋片真空泵、電磁真空帶充氣閥、高真空氣動檔板閥(主閥)、高真空氣動檔板閥預抽閥、高真空氣動檔板閥(出口閥)、前級管路充氣閥、連接管路、密封圈、復合真空計及配電柜等組成的抽氣系統。
 

　　2、本機組不適宜抽除對金屬有腐蝕作用和對泵油起化學反應的氣體。它可作為真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、太空模擬實驗裝置等高科技設備的高真空獲得裝置。工作環境溫度5~40℃，相對濕度不大于85%，冷卻水溫度25℃+5℃。
 

　　3、真空度與真空泵的抽氣能力、艙室的密封性以及艙室內部材料(爐體內壁、實驗器件、熱沉等)的放氣量有關，本機組的極限壓力為1×10-3pa,使用壓力為1×10-2pa，抽氣時間約為1小時。
 

　　4、擴散泵不能單獨形成抽氣，需由前級泵將系統壓力降低至擴散泵要求啟動的壓力之內，一般為≤10pa。
 

　　5、在擴散泵的進氣口裝有新型的水冷檔板，可有效的防止擴散泵中的油蒸汽返流入真空室內，避免對實驗儀器的污染。
 

　　6、 為了防止前級泵中的真空油在停泵時返流入擴散泵泵腔內，需在前級真空的進?氣口配電磁閥，在停泵時自動將系統管路隔離。
 

　　7、閥門采用氣動方式，操作方便。
 

　　8、在開始抽氣時 ,此系統中設置有預抽管路,被抽氣體不經過擴散泵而由前級泵直接抽出,這樣做可避免被抽容器中氣體對擴散泵的污染(水分、揮發物、雜質)，待被抽容器壓力降低至10pa時,關閉預抽閥、開啟擋板閥,擴散泵開始對被抽容器開始正常抽氣。